测试等离子体需要测哪些参数？
等离子体虽然看不见，但它的参数变化直接决定工艺效果。要真正做到 “可控、可重复、可优化”，必须测试等离子体参数，而大多数参数最终都会表现为电流、电压的特定波形或数值。下面分两部分讲：1.要测什么参数，2.为什么测成电流 / 电压形式、难点在哪里
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等离子体在半导体中的核心应用
等离子体已成为半导体制造、材料表面工程、环境治理、航空航天等领域的核心应用技术。
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等离子plasma与脉冲功率应用
近年来，脉冲放电等离子体及其应用符合国家节能减排的战略需求，在社会经济发展和国防领域中有着广泛应用。其从生物医学应用、新能源太阳电池背膜、柔性薄膜电路板、纳米光电子学、自由电子激光器、等离子体推进器等高科技领域到废气废水及有机污染物等环保处理都呈现出越来越广阔的应用前景。目前国内脉冲放电等离子体的相关研究发展迅猛，培育了大气压 DBD、纳秒脉冲放电、等离子体射流等具有特色的优势方向。
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